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| SSA600/10型步进扫描投影光刻机具有以下优良特性： | ||||||
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高性能193nm ArF准分子激光光源 | |||||
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高性能投影物镜系统，最大数值孔径0.75 | |||||
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支持离轴照明等多种分辨率增强技术，最高分辨率100nm | |||||
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高速全场对准和高速同步扫描曝光实现高产率 | |||||
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高精度掩模对准和硅片对准系统，对不同硅片工艺具有良好的工艺适应性 | |||||
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高精度六自由度掩模台/工件台定位控制系统 | |||||
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高性能、高可靠性、低生产成本(COO) | |||||
