SOI500系列全自动光学缺陷检测设备
 SOI500 |
SOI500系列全自动光学缺陷检测设备可以自动扫描晶圆的表面图形，自动识别其中的缺陷并且将找到的缺陷加以分类。它可以极大程度地提高晶圆制造过程中的工艺控制能力。该类设备正在被前道芯片制造、先进芯片封装等集成电路制造商越来越广泛地采用。
产品特征
出色的残胶检测功能
特有的光学系统可提高图像对比度，有助于识别残胶、金属残留或其他低对比度缺陷。
离线软件
离线软件可供技术人员方便地对缺陷进行确认和分类。
丰富的成像照明系统
该系统具备丰富的成像照明配置：物镜凸轮包含5个卡槽，可预装1X、2X、3.5X、5X、10X、20X、50X或100X等倍率的物镜，可切换明暗场，可调整照明光强等。
支持多种工况
可支持4寸、6寸、8寸以及12寸大翘曲硅片，支持Cassette、FOUP以及SMIF等多种物料接口。
超大扫描视场
自主开发超大扫描视场镜头，分辨率可达到0.5μm，显著提升了检测效率。
低成本
高效的全自动硅片传输系统、大行程高速工件台确保高效率生产，有效降低用户的运营成本。
智能检测
先进的自动智能检测软件，能够高效识别低对比度及复杂背景下的微小缺陷，保证有高检出率和低误检率。
上海浦东新区张东路1525号
info@smee.com.cn
+86-21-51315131
+86-21-58969020
