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SOL500
SOL500系列全自动线宽套刻量测设备应用于前道IC制造产线,用于晶圆表面图像CD关键尺寸、Overlay套刻精度量测等。
产品特征
高精度量测
高精度成像焦面控制
高产率
多种物料接口
友好的软件交互界面