长短寸测量设备 —— 长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量


SOM255/10

SOM245/10

SOM200系列长短寸测量设备配合光刻机,用于长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量。
   产品特征

● 多功能测量,长寸测量同时兼容CD/Overlay测量及光刻胶膜厚测量

● 高测量精度,CD测量重复性30nm,TP测量重复性280nm,满足高分辨率光刻的测量需求

● 高测量效率,采用桥式结构,更稳定更高速

● 高效的温度控制系统

● 快速灵活的客制化服务

   主要技术参数

 型号

SOM245/10 

 SOM255/10

 CD测量重复性

 30nm@3Sigma

 30nm@3Sigma

CD测量复现性

50nm@3Sigma 

 50nm@3Sigma

 TP测量重复性

 280nm@3Sigma

300nm@3Sigma

 TP测量复现性

400nm@3Sigma 

450nm@3Sigma