SSB800系列光刻机

SSB800

SSB800（I-line）系列扫描投影光刻机致力于覆盖280nm及以上的典型光刻制程。设备以高产率与强工艺适应性为核心价值，为半导体产业提供稳健的基础工艺保障。其应用范围广泛覆盖了功率半导体、模拟集成电路、微机电系统（MEMS）等成熟制程制造领域，是实现大规模、高稳定性生产的理想选择。