2002

• 2002.03
  上海微电子装备有限公司在张江高科技园区正式成立。
• 2006.04
  光刻机产品注册商标获得国家工商局批准。
• 2008.11
  十五光刻机重大科技专项通过了国家科技部组织的验收。
• 2008.12
  公司被评为“上海市高新技术企业”。
• 2009.12
  首台先进封装光刻机产品SSB500/10A交付用户。
• 2010.08
  我司被评为“上海市创新型企业”。
• 2011.10
  SSB500系列先进封装光刻机产品被国家科技部批准为“2011年度国家级重点新产品计划项目”。

2012

• 2012.05
  我司产品SSB500系列先进封装光刻机首次实现海外销售。
• 2012.06
  SSB500系列先进封装光刻机产品荣获“上海市专利新产品”。
• 2012.11
  SSB500系列先进封装光刻机荣获第14届中国国际工业博览会金奖。
• 2012.12
  研究课题《纳米精度多自由运动系统关键技术及其应用》荣获“国家技术发明二等奖”。
• 2013.08
  国产首台用于2.5代AM-OLED TFT电路制造的SSB225/10成功交付用户。该产品被国家科技部评为“2014年度国家重点新产品”。
• 2013.11
  我司被评为第一批国家级知识产权示范企业。
• 2014.03
  我司先进封装光刻机创新团队入选科技部创新人才推进计划重点领域创新团队。
• 2014.10
  我司创新研发团队荣获由中组部、中宣部、人社部、科技部获批并颁发的“全国专业技术人才先进集体”奖。
• 2016.01
  我司技术中心被认定为“国家企业技术中心”。
• 2016.06
  我司首台暨国内首台前道扫描光刻机交付用户。
• 2016.11
  我司应用于平板显示的SSB245高分辨率投影曝光机荣获第18届中国国际工业博览会金奖。
• 2017.01
  公司完成股改，正式更名为上海微电子装备（集团）股份有限公司。
• 2017.03
  由我司承担的“平板显示高精细度图案化工艺和装备关键技术开发及应用”任务被上海市人民政府授予上海市科学技术进步奖一等奖。
• 2017.04
  公司承担的国家02重大科技专项任务“浸没光刻机关键技术预研项目”通过了国家正式验收。
• 2017.10
  公司承担的02重大科技专项“90nm光刻机样机研制”任务通过了02专项实施管理办公室组织的专家组现场测试。
• 2017.11
  我司SPA200系列光配向设备喜获第十九届中国国际工业博览会银奖。
• 2017.12
  中国首台新型显示用6代高分辨率TFT曝光机发运。
• 2018.03
  90nm光刻机项目通过正式验收。
• 2018.06
  我司获得由上海市人民政府、上海市质量监督局、上海品牌国际认证联盟授予的“上海品牌”认证荣誉称号，成为首批获得该认证的企业。
• 2018.09
  我司600系列IC前道投影光刻机荣获第20届中国国际工业博览会银奖。
• 2019.12
  我司获批国家海关总署AEO高级认证。我司SSB300系列光刻机入选制造业单项冠军产品。
• 2020.01
  我司荣获“第三届浦东新区区长质量奖”。

至今