SOI600系列半自动光学缺陷检测设备
 SOI600 |
SOI600系列产品是半自动光学缺陷检测设备，对晶圆表面进行缺陷目检，宏观、微观拍照，缺陷Review等，改善工艺良率。SOI600产品主要用于前道IC制造产线的ADI、AEI、API和OQC等工艺段。
产品特征
丰富的成像照明系统
具备丰富的成像照明配置：物镜凸轮包含5个卡槽，可预装1X、2X、3.5X、5X、10X、20X、50X或100X等倍率的物镜，像素分辨率最高可达27.5nm，可切换明暗、暗场、荧光场照明，可调整照明光强等。
多角度拍照
支持晶圆宏观多角度翻转、旋转，可进行晶圆正面、背面、边缘缺陷拍照和高清动态显示。
高产率、低成本
高效的全自动晶圆传输系统，大行程、高精度、高速步进运动台，有效提升了检测产率，降低用户的使用成本。
支持多种物料接口
可支持6寸、8寸和12寸标准notch晶圆，支持SMIF、Open Cassette、FOUP和FOSB等多种物料接口。支持OHT天车对接，并配备安全光栅。
友好的软件交互界面
基于Linux平台开发的检测软件，操作便利，交互友好。支持EAP工厂远程自动化生产控制，支持宏观、微观拍照，Klarf文件导入解析、缺陷Review、分类、排序等。
上海浦东新区张东路1525号
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