SOI800系列全自动光学缺陷检测设备
 SOI800 |
SOI800系列产品是全自动光学缺陷检测设备，对晶圆的表面图形进行扫描，自动识别其中的缺陷并且将找到的缺陷加以分类。SOI800系列产品可以极大程度地提高晶圆制造过程中的工艺控制能力。SOI800系列产品主要用于前道IC制造产线的ADI、AEI、API和OQC等工艺段。
产品特征
丰富的成像照明系统
具备丰富的成像照明配置：物镜凸轮包含5个卡槽，可预装1X, 2X, 3.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X等倍率的物镜，可切换明、暗场照明，可调整照明光强、照明光源波长等。
无实体硅片处方编辑
支持Waferless无实体硅片处方编辑，EAP工厂远程自动化生产控制，iADC在线自动缺陷分类等功能。基于Windows平台开发的自动光学检测软件，操作便利，交互友好。
高产率、低成本
高效的全自动晶圆传输系统，大行程、高精度、高速扫描运动台，有效提升了检测产率；单位面积产率高；降低用户的使用成本。
智能检测
先进的Smart Detection自动检测软件，配备Die to Die、Die to Standard、Cell to Cell和Macro等多种检测算法，能够高效识别低对比度及复杂背景下的微小缺陷，保证有高检出率、高重复检出率和低误检率。可支持裸片检测，能够检出1μm的缺陷。
晶背和晶边缺陷检测
可配置晶背和晶边缺陷检测功能，分辨率分别为20μm、1μm，独立模块设计，有效提升了晶圆全表面的良率控制。
明、暗场同步扫描检测
独立自主开发的明场、暗场同步扫描检测，自动调焦，分辨率可达到1μm，显著提升了检测精度和检测效率。
支持多种物料接口
可支持8寸和12寸标准notch硅片，支持SMIF、Open Cassette、FOUP、和FOSB等多种物料接口。支持OHT天车对接，并配备安全光栅。
上海浦东新区张东路1525号
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