300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices制造


SSB300/30

SSB320/10

SSB300/30投影光刻机适用于2-6英寸基底LED的PSS和电极光刻工艺,该设备具有高分辨率、高线宽均匀性等特点;SSB320/10投影光刻机专用于LED生产中芯片(Chip)制作光刻工艺,采用超大曝光视场,通过掩模优化设计减少曝光场,减少重复芯片损失,显著提高产能。
   产品特征

● 高分辨率,分辨率可达0.8μm

● 高速在线MAPPING技术

● 高精度拼接

● 2/4/6寸基底全自动切换

● 高产能

● 高精度套刻

● 完美匹配ALIGNER

   主要技术参数
 型号  SSB300/30A  SSB300/30P  SSB320/10A  SSB320/10M
 分辨率  0.8μm  0.8μm  2μm  2μm
 曝光光源  i-line mercury lamp  i-line mercury lamp  ghi/gh/i-line mercury lamp  ghi/gh/i-line mercury lamp
 基底尺寸  2~6 inches  2~6 inches  2~6 inches  2~6 inches
 备注  支持PAD工艺  支持PSS工艺,无套刻  不支持背面对准  支持背面对准