半导体产线搬运机器人 —— 智能片盒运输/搬运


ATR500

APR500

ATR500智能片盒运输设备,能够自动将最多4盒8寸/12寸片盒在工厂不同区域中进行运输;APR500智能片盒搬运设备,能够携带两盒12寸片盒,并将其搬运至工厂不同区域,如货架、机台等。智能的避障功能使之尤其能适用于人车协作的生产环境,配置有RFID传感器,能够与工厂生产管理系统进行交互。
   产品特征

● 灵活性高

● 适用于高净化等级厂房

● 运载量大

● 操作简便

● 物料可追溯

● 安全性高

   主要技术参数

型号

ATR500 

APR500 

运载容量

4盒满载200mm/300mm Storage Box或FOUP两者可兼容

2盒满载300mm FOUP

引导方式

激光智能引导

激光智能引导

移动速度

 最高1.3 m/s

 最高0.8 m/s